该案例分析出自于华北区县1家超大型半导造成公司,主要的生产制造的集成式三极管集成电路芯片。在生产制造的的过程 中,晶圆清洁工作、蚀刻等工步需采用大批量电子厂级磷酸(色度≥85%),由此而知造成高有机废气浓度含磷生活污水。公司改变除理建筑设施无非符合发展须严格的摆放标准化(TP≤0.5mg/L),人们非常升到创新。
废气组分及源
电镀废气处理处理工艺重要收入于几个基本原则:晶圆擦洗电镀废气处理处理工艺(占总供水量60%)、设备擦洗电镀废气处理处理工艺(30%)甚至水平面擦洗电镀废气处理处理工艺(10%)。水体功能表演为:pH值1.5-2.5,总磷氧化还原电位800-1200mg/L,氟化合物含氧量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有少量巨资属(铜、锌等)。
正确处理施工工艺步奏
顶目通过"预解决+化学上析出+高等阳极氧化+角度净化"的团体工艺设备:
缓解池
:教育均衡发展水体排水量,具有pH网上监测网操作系统
七级的反应池
:添加制作石灰乳设定pH至8.5-9.0,构成Ca3(PO4)2悠长岁月中
二级考试反应迟钝池
:加上PAC和PAM强化装备水解酸化池成效
斜板沉积池
:保证 固液分离处理,污水进过滤系统
Fenton被氧化机组
:H2O2与Fe²⁺联合角色吸附有机肥料物
多导电介质过滤清洁器
:石英石砂+抗逆性炭团体过滤水,切实保障出水量清新
正离子交易控制系统
:进一次洗去多余金属件阴离子
后面特效
系统的行驶稳定性后,出液土质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,相关指标体系具有《光学工业化的水感染物的直接废气排放标准》(GB 39731-2020)。历年减轻磷的废气排放约15吨,废水生成量较传统型生产工艺调低40%,行驶总成本把控在8.两元/吨水。