该厂为84英寸晶圆产量线配套方案的超蒸馏水模式，每顿饭形成含硅废水工作150吨。废水工作中虽无巨资属，但硅纯度高易水垢，且电阻值率需实现18MΩ·cm能力造纸废水工作。原本的工作的工艺没有无法新实行的《电子技术重工业水被环境有害特性直接直接排放规则》（GB39731-2020）特备直接直接排放卫生防护距离。 废水处理工艺组成优缺点 具体危害物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 特别的特殊要求 ：TOC<10μg/L，硼份量<5μg/L 水质标准性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅氧化物体型繁复 正确处理技艺注意事项 创新性选择"梯级膜分離+电去阴离子"搭配组合工艺设计： 微滤预净化处理 ：1μm瓷器膜电话拦截大颗粒状硅，通量稳定80LMH 化合物交流树脂材料 ：D201大孔树脂材料采用性吸附剂硅酸团伙 特殊RO系统 ：首要段出售率60%，二段选取高脱硼膜元器件 EDI电去化合物 ：电压电流密度计算2A/m²，连续剔除残留物化合物 分光光度计臭氧消毒 ：254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 技术应用突出点 规划设计专业阻硅剂（设计胺类结合物），廷缓膜影响时期3倍 EDI组件全新流道设定，硅弄掉率优化至99.8% 高清在线硅进行测试仪（测定依据0.1-500μg/L）实现目标深度贫困抑制 运动作用 经再次方查重： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼纯度从8μg/L调至0.3μg/L 模式收废率从原40%完善至68% 膜换成过渡期延长时间至5年，年正常运作制造费降底35%