北京某半导IC芯片造成厂，晶圆手工加工时候中发生含硅、氟的特别焦化废水鑫霖环保，定制加工范围1200吨/日。焦化废水鑫霖环保营养成分很复杂，含有奈米级硅小粒及氢佛酸，以往加工最简单的方法不可达到。 污废水 组成及从何而来 最主要环保问题物 ：氢氧化铁硅（100-500nm比表面积）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源工步 ：晶圆刻蚀化工废污水（45%）、CMP化学反应厂家增加光泽化工废污水（40%）、机消毒水（15%） 进行处理方法的流程 科学创新应用"物理沉定+持种膜转移"技巧路线图： 钙盐滤渣 ：添加氯化钙去掉氟亚铁离子（转为CaF2沉定） 水解酸化池发应 ：结合斜管沉淀池剂构建溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜虚报冒领微细粒状 反渗透装置性和平台 ：脱盐率>98%，二手回成品率75% 化掉凝结 ：浓水段完成氟化物无废气排放出 终极视觉效果 氟化物溶度：<8mg/L（远低于一个国家一层规格10mg/L） 硅含磷量：<5mg/L 水的资源循环率：70%应用于蒸发塔皮肤补水 垃圾减药：挥发食物残渣量较传统意义技术避免60%